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半導(dǎo)體制作工廠廢氣處理工程

編輯：?jiǎn)⒕G環(huán)保   瀏覽：  時(shí)間：2020-03-20

半導(dǎo)體行業(yè)作為高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)往往被人誤解為 “清潔”產(chǎn)業(yè)，但事實(shí)上，半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程中使用了大量有機(jī)和無(wú)機(jī)物，包括許多有毒有害物質(zhì)，對(duì)環(huán)境危害較為嚴(yán)重，如不加以控制，將會(huì)產(chǎn)生較大的環(huán)境污染。

隨著國(guó)家對(duì)環(huán)保的重視，國(guó)家和地方相繼發(fā)布了半導(dǎo)體行業(yè)廢氣排放標(biāo)準(zhǔn)。

東莞啟綠環(huán)保工程設(shè)備公司首先提出活性炭吸附概念(發(fā)明專利)，是掌握該技術(shù)并實(shí)際應(yīng)用的企業(yè)。為有機(jī)廢氣治理開(kāi)辟了一條全新的途徑。
半導(dǎo)體制作工廠廢氣處理工藝說(shuō)明：

有機(jī)廢氣氣體由風(fēng)機(jī)提供動(dòng)力，正壓或負(fù)壓進(jìn)入活性炭吸附器，廢氣與具有大表面的多孔性的活性炭接觸 ，廢氣中的污染物被吸附，使其與氣體混合物分離而起到凈化作用，凈化氣體高空達(dá)標(biāo)排放。

         

不含塵機(jī)廢氣處理活性炭吸附工藝流程圖 
  
 

含塵含高溫機(jī)廢氣經(jīng)活性炭吸附處理工藝流程圖 


 
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